主要应用场景
半导体封装载板:实现芯片与基板的电连接,提升散热效率。
PCB 高频载板:增强信号传输稳定性,降低损耗。
精密电子载板:提高表面耐磨性和抗腐蚀能力,延长使用寿命。
面板级加工:扇出型封装常采用面板级封装(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板级电镀设备可加工尺寸高达 515x510 毫米的面板,相比传统晶圆级封装,能提高生产效率,降低成本。
高精度要求:需满足高密度互连(HDI)、超细线路 / 焊盘(线宽 / 线距常<20μm)的要求,对镀层均匀性、致密度、附着力、纯度等方面要求,例如铜镀层孔隙率需≤1 个 /cm²。
复杂结构处理:对于埋入式扇出型封装结构,可能存在深宽比较大的通孔,电镀时需要特殊工艺处理,以避免产生空洞等缺陷。
关键技术
电镀液配方:例如酸性铜盲孔填充电镀液通常为高浓度的铜(200g/L 至 250g/L 硫酸铜)和较低浓度的酸(约 50g/L 硫酸),并添加抑制剂、光亮剂和整平剂等有机添加剂,以控制电镀速率,获得良好的填充效果和物理特性。
添加剂控制:通过控制添加剂的浓度和比例,利用抑制剂、光亮剂和整平剂的不同作用,实现盲孔的自下而上填充,避免大凹陷、敷形填充等问题,同时保证镀层的均匀性和表面质量。
通讯载板电镀加工关键技术
电镀液配方优化:为了实现高精度的电镀效果,需要针对不同的镀层和工艺要求,优化电镀液配方。例如,铜镀液中铜离子浓度、硫酸浓度以及添加剂的种类和含量等都需要控制,以保证镀层的均匀性、致密度和附着力。
添加剂控制:添加剂在通讯载板电镀中起着关键作用,通过控制抑制剂、光亮剂和整平剂等添加剂的浓度和比例,可以实现超细线路的均匀电镀,避免出现镀层桥连、空洞等缺陷。
设备与工艺参数调控:先进的电镀设备能够控制电场、电流密度、温度、时间等参数,确保电镀过程的稳定性和一致性。例如,在脉冲电镀中,通过合理设置脉冲参数,可以改善镀层的结晶结构,提高镀层的性能。

